國產表面塵埃0.1顆粒檢測儀表面塵埃粒子檢測儀是一款面向制造、半導體工藝、光電顯示及精密加工領域的高靈敏度檢測設備。 它通過光散射探測與智能識別算法，對材料表面的微小塵埃、顆粒及污染物進行實時檢測與量化分析，幫助用戶精準 掌握潔凈度狀況，提升生產良率與質量控制水平。  這款設備由國內團隊自主研發，核心光學、算法與電子系統均實現國產化突破，是一款可替代進口設備的高 性能粒子檢測解決方案。  測試流程：探頭掃過要測試的樣品表面，表面上的顆粒被通過掃描頭上的開口排出的高壓空氣流化。然后這些粒 子通過探頭氣管被拉到表面粒子檢測器，在那里記錄粒子水平并以原始粒子計數，顆 in2  或 顆表示；該系統 采用固態激光二極管光源和收集光學器件，用于檢測和確定通過掃描頭拉出的顆粒的大小。收集光學器件將光聚焦 在光電探測器上，該光電探測器將光脈沖轉換為電脈沖。脈沖高度與顆粒大小成正比，裝置采用光散射激光技術來量 化表面污染顆粒的相對水平。

表面塵埃粒子檢測儀 高集成度采樣探頭：將進氣，出氣集成到探頭里，探頭材料采用化學性質穩定、防靜電、耐摩擦等特性，在充分吹掃表面探 頭所覆蓋區域顆粒物的同時，還能有效的將所有的顆粒通過管道置換到設備檢測光腔內，得到準確、靈敏、可靠的結果。 自動校準算法：自動區分顆粒類型與尺寸區間，減少人為誤差，提高檢測一致性。 實時可視化分析平臺：高速信號采樣與數據融合算法，支持結果圖形化展示：粒徑分布曲線、密度趨勢、 異常警報等一目了然，便于工藝溯源與質量評估。 模塊化設計，適應多場景應用：儀器采用主機 + 可更換探頭結構，可適配平面、凹槽、邊緣等復雜表面， 實現現場靈活檢測。支持靜態與動態模式切換。  

噪音低，氣流平順 國產高精度 高集成度采樣探頭 即插即測，智能校準，一鍵生成可視化潔凈報告

國產表面塵埃0.1顆粒檢測儀特點

高集成度采樣探頭：將進氣，出氣集成到探頭里，探頭材料采用化學性質穩定、防靜電、耐摩擦等特性，在充分吹掃表面探 頭所覆蓋區域顆粒物的同時，還能有效的將所有的顆粒通過管道置換到設備檢測光腔內，得到準確、靈敏、可靠的結果。 自動校準算法：自動區分顆粒類型與尺寸區間，減少人為誤差，提高檢測一致性。 實時可視化分析平臺：高速信號采樣與數據融合算法，支持結果圖形化展示：粒徑分布曲線、密度趨勢、 異常警報等一目了然，便于工藝溯源與質量評估。 模塊化設計，適應多場景應用：儀器采用主機 + 可更換探頭結構，可適配平面、凹槽、邊緣等復雜表面， 實現現場靈活檢測。支持靜態與動態模式切換。

高穩定性與環境補償：內置溫濕度補償與防振動設計，在潔凈室、實驗線及戶外實驗等多種環境下均 能保持高精度與長期穩定運行。 開放式數據與系統兼容性: 支持多種數據接口USB，RS485，可與MES、QMS 等系統無縫集成，實現檢測信息的自動歸檔與追溯。

表面塵埃0.1顆粒檢測儀應用領域 半導體晶圓與光掩膜檢測 光電顯示與玻璃基板制造 精密機械與光學元件加工 醫療器械與高潔凈生產線 材料表面潔凈度評估與認證

表面塵埃0.1顆粒檢測儀技術參數  應用領域 半導體晶圓與光掩膜檢測 光電顯示與玻璃基板制造 精密機械與光學元件加工 醫療器械與高潔凈生產線 材料表面潔凈度評估與認證 表面探頭類型 表面探頭規格 功 能 電 源 打印功能 數據存儲 重 量 圓形 15、20、30、50、70mm(直徑)；標配一個50mm 表面探頭 根據探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸)， 自動計算出表面積, 直接判定SCP等級 可拆卸鋰電池，可充電DC24V 熱敏打印機 可存儲至少100,000組數據 8.8Kg  SCP等級 1級~8級 外形尺寸 250 × 240 × 310 mm(不含氣嘴，把手等附件）