VCR音速噴嘴計量模組ZEX-VCR音速噴嘴(限流孔板)計量模組概述

ZEX-VCR 微米級超純特氣限流音速噴嘴模組,是一款應(yīng)用于氣體流量限流 和定量的場合,其主要特點(diǎn)就是精度高,耐高溫和高壓等,目前應(yīng)用于特純氣體的限流控制,和正壓法音速噴嘴的標(biāo)定/校準(zhǔn)等設(shè)備制造，

具有超過的耐溫性能 正常工作溫度可到達(dá)200C,結(jié)構(gòu)采用硬質(zhì)鎢鋼 與外殼不銹鋼采用銅粉高溫熔接技術(shù),保證長時間高溫下使用焊接可靠。目前生產(chǎn)的臨界音速噴嘴已經(jīng)用于某航空航天高溫測試平臺。

VCR音速噴嘴計量模組產(chǎn)品特點(diǎn):

微米級的激光加工技術(shù),精度更高

采用硬密封技術(shù) 無橡膠 密封件不存在氣體吸附的問題基于音速噴嘴臨界流音速噴嘴工作原理設(shè)計 應(yīng)用技術(shù)成熟

技術(shù)參數(shù):

流量范圍:5~5000mL/min

口徑范圍:10~200um

壓力范圍:0.5-4MPa

ZEX-SNMAG2110)051

噴芯材料:CVD(人造鉆石)/硬質(zhì)鎢鋼

結(jié)構(gòu)材料:316L

VCR音速噴嘴計量模組應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體 光學(xué)鍍膜 空氣揮發(fā)物 VOC分析等其他特氣控制領(lǐng)域